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견 적 문 의
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| Application | 초순수 |
| Parameter | Nano Particle |
| Counting Range | 0 ... 3000 p/mL |
| Reporting Time | 1 reading / min |
| Size Channels | ≥ 5 nm, ≥ 10 nm, ≥ 20 nm or ≥ 50 nm |
| Zero Counting Level | < 100 p/L |
| Sample Flowrate | 300 mL/min (Controlled) |
| Line Pressure | 2...7 bar (30...100psi) |
| Sample Temperature | 20...25 °C |
반도체
Features
NanoParticle Ultrasound Sensor (NanoPULS)는 반도체 등급의 초순수(UPW)를 위한 온라인 나노입자 카운터입니다. 측정은 캐비테이션 (공동화) 원리를 기반으로 하며 작은 입자 감지에 신호 대 잡음비(Signal-to-Noise Ratio) 를 보장합니다. |
 | 고강도 초음파 트랜스듀서를 통해 생성된 음향 케비테이션에 의해 작동합니다. 트랜스듀서는 샘플링 셀을 통해 흐르는 초순수(UPW)에 집중된 초음파 펄스를 전달하여, 그 초점이 통과하는 나노입자에서 케비테이션을 발생시켜 나노입자를 검출합니다. |
 | NanoPULS는 송신기 유닛(TU)과 1~4개의 센서 유닛(SU)을 모듈형으로 설계는 서로 다른 크기 채널이나 샘플 지점에서 동시에 측정을 할 수 있도록 합니다. |
Specification
Principle | Acoustic Cavitation |
Detector | Ultrasound Sensor |
Counting Range | 0 ... 3000 p/mL |
Size Channels | ≥ 5 nm, ≥ 10 nm, ≥ 20 nm or ≥ 50 nm |
Zero Count Level | < 100 p/L |
Reporting Time | 1 Reading / min |
Sample Flowrate | 300 mL/min (Controlled) |
Line Pressure | 2...7 bar (30...100 psi) |
Sample Temperatur | 20...25 °C |
Liquid Connections | ¼” PFA Flare Inlet |
Main Wetted Parts | PFA (Perfluoroalkoxy) |
Analog Output | 4...20 mA |
Serial Interface | Ethernet |
Data Output | USB-C Key (Data Export) |
Operating Environment | 10…40 °C |
Electrical Supply | 100...240VAC, 50/60Hz |
Dimentions | TU 250 x 307 x 430mm |
Weight | TU 13kg |
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